SUBSTRATE TREATING DEVICE AND TREATMENT OF SUBSTRATE,申请号JP19920051646-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE TREATING DEVICE AND TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH05255856(A)	申请公布日期	1993.10.05
申请号	JP19920051646	申请日期	1992.03.10
申请人		发明人
分类号	C23C14/54;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511;C30B25/14;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
主权项
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