发明名称 CANTILEVER CHIP FOR SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05256643(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 JP19920219969 申请日期 1992.08.19
申请人 发明人
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q70/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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