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发明名称
CANTILEVER CHIP FOR SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH05256643(A)
申请公布日期
1993.10.05
申请号
JP19920219969
申请日期
1992.08.19
申请人
发明人
分类号
G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q70/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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