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发明名称 PLASMA PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05255858(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 JP19920055382 申请日期 1992.03.13
申请人 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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