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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05255849(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 JP19920089580 申请日期 1992.03.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;C23C14/34;C23C14/50;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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