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发明名称
Seitenwanddistanzschichten zur Spannungsaufnahme und Isolierung von CMOS Schaltungen und Herstellungsverfahren.
摘要
申请公布号
DE3784958(T2)
申请公布日期
1993.09.30
申请号
DE19873784958T
申请日期
1987.01.23
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
DALLY, ANTHONY JOHN, PLEASANT VALLEY N.Y. 12569, US;OGURA, SEIKI, HOPEWELL JUNCTION N.Y. 12533, US;RISEMAN, JACOB, POUGHKEEPSIE N.Y. 12602, US;ROVEDO, NIVO, POUGHQUAG N.Y. 12570, US
分类号
H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/225
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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