发明名称 Seitenwanddistanzschichten zur Spannungsaufnahme und Isolierung von CMOS Schaltungen und Herstellungsverfahren.
摘要
申请公布号 DE3784958(T2) 申请公布日期 1993.09.30
申请号 DE19873784958T 申请日期 1987.01.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DALLY, ANTHONY JOHN, PLEASANT VALLEY N.Y. 12569, US;OGURA, SEIKI, HOPEWELL JUNCTION N.Y. 12533, US;RISEMAN, JACOB, POUGHKEEPSIE N.Y. 12602, US;ROVEDO, NIVO, POUGHQUAG N.Y. 12570, US
分类号 H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/225 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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