| 摘要 |
Un disque (1) est placé de façon à chevaucher la zone de pulvérisation A, à section en pratique circulaire, d'une base (10) fournissant des particules ultra-fines constituant un agent de formation de film. Cet agent est pulvérisé à mesure que le disque (1) tourne. La périphérie de ce disque passe sur la partie intérieure de la zone de pulvérisation, où la densité de particules pulvérisées est supérieure mais où le taux de dépôt de particules par unité de surface est inférieur car cette périphérie défile relativement vite. D'autre part, les parties intérieures du disque passent sur l'extérieur de la zone de pulvérisation où la densité de particules pulvérisées est inférieure mais leur taux de dépôt par unité de surface est supérieur car ces parties défilent relativement lentement. Ainsi, la quantité de fines particules déposées sur le disque (1) est-elle uniformisée dans le sens radial. |
