| 发明名称 |
PROCESS FOR ACCELERTING ELECTRICALLY CHARGED PARTICLES |
| 摘要 |
<p>Procédé d'accélération de particules chargées électriquement et accélérateur de particules permettant de mettre en oeuvre et d'appliquer le procédé. Le rayonnement ainsi produit présente une haute intensité et une forte concentration. Il est bien adapté au dépôt uniforme de matériaux sur un substrat. Il est également bien adapté à la production de lumière de différents domaines spectraux.</p> |
| 申请公布号 |
WO9319572(A1) |
申请公布日期 |
1993.09.30 |
| 申请号 |
WO1993DE00253 |
申请日期 |
1993.03.18 |
| 申请人 |
KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH |
发明人 |
SCHULTHEISS, CHRISTOPH;KONIJNENBERG, MARTIN;SCHWALL, MARKUS |
| 分类号 |
H01J37/077;H05H1/06;H05H1/24;H05H1/54;H05H5/00 |
主分类号 |
H01J37/077 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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