发明名称 Thermal evaporation in two planes
摘要
申请公布号 AU3203793(A) 申请公布日期 1993.09.30
申请号 AU19930032037 申请日期 1993.01.27
申请人 DAVIDSON TEXTRON INC. 发明人 RICHARD C. EISFELLER
分类号 C23C14/22;C23C14/14;C23C14/20;C23C14/24;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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