| 发明名称 |
SENSOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING PROCESS CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0493827(A3) |
申请公布日期 |
1993.09.29 |
| 申请号 |
EP19910122371 |
申请日期 |
1991.12.30 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
MOSLEHI, MEHRDAD M. |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G03F7/20;G06F19/00;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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