发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251455(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920047154 申请日期 1992.03.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKEI SAKAE
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址