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发明名称 FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH05251347(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920038787 申请日期 1992.01.29
申请人 TOSHIBA CORP;TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON TOHOKU KK 发明人 MIKATA YUICHI;OKUMURA KATSUYA;NIINO REIJI;FUJITA YOSHIYUKI;SUZUKI HIROSHI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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