| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT INSPECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05249191(A) |
申请公布日期 |
1993.09.28 |
| 申请号 |
JP19920051619 |
申请日期 |
1992.03.10 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK |
发明人 |
OGAWA YOSHIKAZU;OHASHI KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01R31/319;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/319 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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