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发明名称 CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05251417(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920049699 申请日期 1992.03.06
申请人 BABCOCK HITACHI KK;HITACHI LTD 发明人 FURUE TOSHIKI;KIKKO TOSHIAKI;MATSUZAKI HARUMI;NOMURA MITSUGI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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