发明名称 FINE PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05251403(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19910293518 申请日期 1991.11.11
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUJI HIROMI;FUJISHIRO HIRONORI;NISHI SEIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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