BUBBLER AND GAS SUPPLY APPARATUS,申请号JP19920048166-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	BUBBLER AND GAS SUPPLY APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH05251348(A)	申请公布日期	1993.09.28
申请号	JP19920048166	申请日期	1992.03.05
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	FUKITA MUNEYOSHI
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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