发明名称 MAGNETIC THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251255(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19910324456 申请日期 1991.12.09
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HOSHINO AKIRA;TAKAGI KENICHI
分类号 H01F7/02;H01F41/18;(IPC1-7):H01F41/18 主分类号 H01F7/02
代理机构 代理人
主权项
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