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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251564(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920038929 申请日期 1992.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 WATANABE KUNIO
分类号 H01L21/66;H01L21/82;H01L23/02;H01L23/29;H01L23/31;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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