发明名称 FORMATION OF DIAMOND THIN FILM AND DIAMOND THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05251586(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920049886 申请日期 1992.03.06
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 HASHIZUME TSUTOMU
分类号 C30B29/04;H01L21/205;H01L23/14;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/14 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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