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经营范围
发明名称 ELECTRON BEAM EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05251525(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920046568 申请日期 1992.03.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAZAWA KAZUHIRO;ABE TAKAYUKI;ITO AKIO
分类号 H01L21/66;G01R31/302;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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