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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251380(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920048875 申请日期 1992.03.05
申请人 SONY CORP 发明人 TSUKAMOTO HIRONORI
分类号 H01L21/28;H01L21/268;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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