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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251645(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920084461 申请日期 1992.03.06
申请人 SONY CORP 发明人 YOSHIHARA IKUO
分类号 H01L27/06;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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