| 发明名称 |
CASSETTE FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY AND FIXING METHOD FOR WAFER TO THE CASSETTE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05251322(A) |
申请公布日期 |
1993.09.28 |
| 申请号 |
JP19920195828 |
申请日期 |
1992.03.06 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SAITO YASUNAO;OKI SHIGEHISA |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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