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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05251401(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920084841 申请日期 1992.03.06
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KOBAYASHI MOTOKI
分类号 H01L21/28;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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