发明名称 FILM CARRIER SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251502(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920046517 申请日期 1992.03.04
申请人 NEC CORP 发明人 TAKEGAWA KOICHI
分类号 H01L21/60;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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