| 发明名称 |
LIQUID FLOW CONTROL DEVICE AND ITS CONTROL METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05248917(A) |
申请公布日期 |
1993.09.28 |
| 申请号 |
JP19920082706 |
申请日期 |
1992.03.04 |
| 申请人 |
SONY CORP;CHEM ART TECHNOL:KK |
发明人 |
AIBA TAKESHI;ASAMI EIJI |
| 分类号 |
G01F23/14;(IPC1-7):G01F23/14 |
主分类号 |
G01F23/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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