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La presente invención se refiere a un procedimiento para purificar fluoruro de hidrógeno anhidro, caracterizado porque comprende las etapas de: a) poner en contacto fluoruro de hidrógeno anhidro que contiene impurezas de arsenico trivalente, con una cantidad efectiva de óxido de cromo hexavalente y oxígeno, para oxidar substancialmente todo el arsenico trivalente en arsenico pentavalente; y b) destilar la mezcla resultante, recuperando de esta manera fluoruro de hidrógeno anhidro con niveles reducidos de impurezas.
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