发明名称 DEPOSITED FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05247655(A) 申请公布日期 1993.09.24
申请号 JP19910081282 申请日期 1991.03.22
申请人 CANON INC 发明人 SANO MASAFUMI
分类号 C23C16/50;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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