| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING BODY TO BE TREATED INCORPORATING OXIDE PART AND NITRIDE PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05247673(A) |
申请公布日期 |
1993.09.24 |
| 申请号 |
JP19910296599 |
申请日期 |
1991.10.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAWARA YOSHIFUMI;HIRANO YOSHIHISA;HASEGAWA ISAHIRO;HORIOKA KEIJI |
| 分类号 |
C23F1/44;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23F1/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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