发明名称 IMPROVED RF PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0326531(B1) 申请公布日期 1993.09.22
申请号 EP19890850011 申请日期 1989.01.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HENDRIX, HOWARD ALLAN;SCHMIDT, HOWARD WILLIAM, JR.;WARD, ERNEST SPENCER
分类号 C23C14/40;C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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