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经营范围
发明名称
IMPROVED RF PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0326531(B1)
申请公布日期
1993.09.22
申请号
EP19890850011
申请日期
1989.01.16
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
HENDRIX, HOWARD ALLAN;SCHMIDT, HOWARD WILLIAM, JR.;WARD, ERNEST SPENCER
分类号
C23C14/40;C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203
主分类号
C23C14/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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