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发明名称 EXTRINSIC GETTERING FOR A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0525455(A3) 申请公布日期 1993.09.22
申请号 EP19920111576 申请日期 1992.07.08
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED 发明人 NETSU, SHIGEYOSHI;TOMIZAWA, SHINICHI
分类号 H01L21/304;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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