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发明名称
PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH05243139(A)
申请公布日期
1993.09.21
申请号
JP19920076244
申请日期
1992.02.27
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KUWABARA KAZUYUKI
分类号
G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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