| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05243176(A) |
申请公布日期 |
1993.09.21 |
| 申请号 |
JP19920042665 |
申请日期 |
1992.02.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
SHIMIZU OSAMU |
| 分类号 |
C23C14/14;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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