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发明名称 SLIDE CARRIER
摘要
申请公布号 JPH05243348(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920042728 申请日期 1992.02.28
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 UEKI TORU;YOSHIMURA MASAJI;KANEZAKI KAZUHARU;SATO TAKASHI;IWATA INEO;TAKIGUCHI MINORU
分类号 H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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