发明名称 ELECTROMAGNETIC INDUCTION HEATING CARRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05243334(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920040830 申请日期 1992.02.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUMURA SHINYA;KABESHITA AKIRA
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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