| 发明名称 |
Slurry polisher using ultrasonic agitation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5245796(A) |
申请公布日期 |
1993.09.21 |
| 申请号 |
US19920862044 |
申请日期 |
1992.04.02 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
MILLER, GABRIEL L.;WAGNER, ERIC R. |
| 分类号 |
B24B1/04;B24B37/00;B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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