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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243558(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920043913 申请日期 1992.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMAMURA KENICHI
分类号 H01L29/205;H01L21/28;H01L29/43;H01L29/68;(IPC1-7):H01L29/68;H01L29/46 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
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