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发明名称 FORMATION OF DELTA-DOPED MULTILAYERED FILM SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05243148(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920044180 申请日期 1992.03.02
申请人 NEC CORP 发明人 MIZUKI JUNICHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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