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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05242996(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920017396 申请日期 1992.02.03
申请人 NEC CORP 发明人 SAGAWA SEIJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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