发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05240926(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920078965 申请日期 1992.02.29
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO TSUKASA
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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