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发明名称
DIELECTRIC DEPOSITION
摘要
申请公布号
US5246887(A)
申请公布日期
1993.09.21
申请号
US19910727698
申请日期
1991.07.10
申请人
AT&T BELL LABORATORIES
发明人
YU, CHEN-HUA D.
分类号
C23C16/40;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
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