| 发明名称 |
METHOD OF POLISHING BEVELED PART OF WAFER BY WAY OF MIRROR SURFACE AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05243196(A) |
申请公布日期 |
1993.09.21 |
| 申请号 |
JP19920075829 |
申请日期 |
1992.02.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HASEGAWA FUMIHIKO;OTANI TATSUO;YAMADA MASAYUKI;KONO HIROSHI |
| 分类号 |
B24B9/00;B24D13/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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