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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243565(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920042720 申请日期 1992.02.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 MARUYAMA YASUO;HARUYAMA MASAMITSU;OOTAKA SHIGEO;OKABE TAKEAKI
分类号 H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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