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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05243182(A)
申请公布日期
1993.09.21
申请号
JP19920045410
申请日期
1992.03.03
申请人
FUJITSU LTD
发明人
IWAMA RYUJI
分类号
H01L21/203;C23C14/34;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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