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发明名称 FLOOR PLAN DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243382(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920038974 申请日期 1992.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 UEJIMA SHINJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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