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发明名称 GAAS MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH05243149(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920017345 申请日期 1992.02.03
申请人 NEC CORP 发明人 ARAI KENICHI
分类号 C30B23/06;C30B23/08;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
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