发明名称 |
PASSIVATION FILM OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05243209(A) |
申请公布日期 |
1993.09.21 |
申请号 |
JP19920045332 |
申请日期 |
1992.03.03 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
CHINO TOYOJI;MATSUDA KENICHI |
分类号 |
H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 |
主分类号 |
H01L21/314 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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