发明名称 PASSIVATION FILM OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH05243209(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920045332 申请日期 1992.03.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 CHINO TOYOJI;MATSUDA KENICHI
分类号 H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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