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发明名称 PLASMA IGNITION METHOD FOR INDUCTION PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH05242995(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19910220173 申请日期 1991.08.30
申请人 JEOL LTD 发明人 KOMAKI HISASHI
分类号 H05H1/30;H05H1/42;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/30 主分类号 H05H1/30
代理机构 代理人
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