发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243319(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920044384 申请日期 1992.03.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI HIROYUKI;SHIMAMOTO HARUO;TERAOKA YASUHIRO;TOBIMATSU HIROSHI;TACHIKAWA TORU
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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