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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243194(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920039901 申请日期 1992.02.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KANEKO SACHIYO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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