发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05243372(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920044707 申请日期 1992.03.02
申请人 NEC CORP 发明人 MUKAI KANJI
分类号 H01L21/306;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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